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名称：激光修复机

在线和离线式激光cut修复，cvd修复，LCD/OLED亮点修复， LCD/OLED掩模板激光修复。

【本文标签】激光修复机

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智能装备视觉检测智能机器人工业自动化自动检测设备 AOI检测设备

详细介绍

规格参数

1.外形尺寸： 3600（L）X2400（W）X1800（H）MM；

2.运动精度 0.1um

3.定位精度 ≤±1um

4.激光cut精度≤1um @100X object

5.Slit精度≤±0.1um

6.自动聚焦物镜切换中心偏移≤±1um

激光参数

1.X向单次处理范围:1um~50um;

2.波长:1064&532& 355 nm;纳秒激光

3.处理方式：slit 方式

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