设备参数
设备运行稳定性参数:MTBF(平均无故障运行时间)≥1000hir、MTBR<30min
良率:>98%(排队产品异常)
GRR:<10%
Correlation:<10%
设备特点
bond头取料吸嘴有两个,可以同时完成未测试芯片和测试好的两颗芯片的同时待料,提高效率。
移动矫正平台1和2 :完成放置在治具台上芯片的矫正,芯片的自动上下料
载具盘自动切换移动上料组件:完成满料载具和空载具盘的自动切换;将满盘载具运送到上料工位,完成单颗芯片的自动上料
分料移动台:完成满料载具和空载具盘的自动切换